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  2. 德國蔡司掃描電子顯微鏡EVO系列-華普通用

    型號:EVO系列
    蔡司 EVO 系列模塊化的 SEM 平臺適用于直觀(guān)操作、例行檢測和研究應用

    產(chǎn)品描述

    蔡司 EVO 系列

    模塊化的 SEM 平臺適用于直觀(guān)操作、例行檢測和研究應用

    EVO系列將高性能的掃描電鏡和直觀(guān)的、友好的用戶(hù)界面體驗結合在一起, 同時(shí)能夠吸引經(jīng)驗豐富的用戶(hù)以及新用戶(hù)。無(wú)論是在生命科學(xué), 材料科學(xué), 或例行的工業(yè)質(zhì)量保證和失效分析領(lǐng)域,憑借廣泛的可選配置, EVO 都可以根據您的要求量身定制。

    • 顯微鏡中心或工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗室的多功能解決方案

    • 不同的真空室大小和可滿(mǎn)足所有應用要求的載物臺選項-甚至是大型工業(yè)零部件樣品

    • 使用LaB6燈絲,能夠得到優(yōu)異的圖像質(zhì)量

    • 對不導電和無(wú)導電涂層的樣品的成像和分析性能出色

    • 可以配置多種分析探測器用于滿(mǎn)足各種顯微分析應用的需求

    優(yōu)勢

    SmartSEM Touch

    便捷的可用性

    SmartSEM Touch可以通過(guò)使用您的指尖與其進(jìn)行交互式工作流程控制。它簡(jiǎn)單易學(xué), 大大減少了培訓所付出的努力和成本,甚至新用戶(hù)在幾分鐘內也能夠捕捉令人驚嘆的圖像。此用戶(hù)界面還支持需要自動(dòng)化工作流程以執行可重復檢查任務(wù)的工業(yè)操作員。

    maximum data quality

    優(yōu)異的圖像質(zhì)量

    EVO 擅長(cháng)于對未經(jīng)處理和沒(méi)有導電涂層的樣品獲取高質(zhì)量的數據。EVO 還允許樣品保留其原始狀態(tài), 維持含水和重污染樣品的數據質(zhì)量。此外當成像和微量分析面臨挑戰時(shí),選用LaB6燈絲則能夠給予更好的分辨率、 對比度和信噪比。

    EVO can be configured to be part of a semi-automated multi-modal workflow

    EVO 能夠與其它設備相關(guān)聯(lián)

    EVO可以作為半自動(dòng)、多模式工作流程的一部分,通過(guò)重新定位感興趣區域,并以多種方式收集數據,形成信息的完整性。將光學(xué)和電子顯微鏡圖像合并起來(lái)進(jìn)行材料表征或零件檢驗,或者將 EVO 與蔡司光學(xué)顯微鏡相關(guān)聯(lián),進(jìn)行關(guān)聯(lián)顆粒度分析。

    適合更多用戶(hù)操作

    對于經(jīng)驗豐富的以及新手用戶(hù)操作都很方便

    在實(shí)際的實(shí)驗室環(huán)境中,SEM 的操作通常是顯微鏡專(zhuān)家的專(zhuān)屬領(lǐng)域。但是對于非專(zhuān)家級用戶(hù)來(lái)說(shuō),操作SEM就變得具有挑戰,比如學(xué)生、受訓者或質(zhì)量工程師,他們往往也需要從 SEM獲取數據。 EVO 則同時(shí)考慮了這兩類(lèi)用戶(hù)的需求,用戶(hù)界面選項既能滿(mǎn)足有經(jīng)驗的顯微鏡專(zhuān)家也能滿(mǎn)足非專(zhuān)業(yè)用戶(hù)的操作需要。

    Expert users
    專(zhuān)家用戶(hù)
    優(yōu)選用戶(hù)界面: SmartSEM

    專(zhuān)家用戶(hù)可以獲取以及設定高級的成像參數和分析功能。

    SmartSEM: 為有經(jīng)驗用戶(hù)使用的控制界面

    SmartSEM: 為有經(jīng)驗用戶(hù)使用的控制界面

    Novice users
    新手用戶(hù)
    優(yōu)選用戶(hù)界面: SmartSEM Touch

    新手用戶(hù)可以使用預定義的工作流程和常用的一些參數-非常適合初學(xué)者。

    SmartSEM Touch: 是一款在觸摸屏電腦上運行的簡(jiǎn)化圖形用戶(hù)界面

    SmartSEM Touch: 是一款在觸摸屏電腦上運行的簡(jiǎn)化圖形用戶(hù)界面

    智能導航與成像

    大大提高樣品的測試效率,以及更多的數據產(chǎn)出

    ZEISS Navigation Cameras

    蔡司導航相機

    相機可以安裝在倉室前方, 以監測樣品與背散射探測器以及物鏡底端之間的相對位置(倉室相機);或安裝在真空室倉門(mén)上方 (導航相機), 利用俯視圖查看樣品臺上樣品的擺放位置。此視圖可用于設置從光學(xué)顯微鏡圖像中識別出的預定義位置, 并在整個(gè)樣品測試過(guò)程中輕松導航。

    Automated Intelligent Imaging

    自動(dòng)化智能成像

    EVO實(shí)現了對樣品批量自動(dòng)、無(wú)人值守的圖像采集。蔡司自動(dòng)化智能成像非常適合例行檢測。它使用戶(hù)能夠自定義邊界區域,自動(dòng)生成所需的視圖或放大倍數確定的感興趣區域,并開(kāi)始自動(dòng)獲取圖像。自動(dòng)化智能成像將大大提高樣品的測試效率,以及更多的數據產(chǎn)出。

    將您的研究提升一個(gè)層次

    使用六硼化鑭電子發(fā)射器能夠獲得更好的圖像

    六硼化鑭陰極相較于傳統的鎢發(fā)夾燈絲所發(fā)射的電子能夠保證您額外所需要的圖像質(zhì)量。這種優(yōu)勢體現在以下兩個(gè)方面:

    • 在相等電子探針尺寸 (即分辨率) 下, 有更多探針電流可供使用, 從而使圖像導航和優(yōu)化更容易

    • 在相等的探針電流 (信噪比) 下, 光斑直徑要小得多, 從而提高了圖像分辨率


    低加速電壓下高放大倍率的催化劑粒子 (左: 使用鎢燈絲, 右: 使用LaB6燈絲)
    當在具有挑戰性的成像條件下, 使用LaB6燈絲的用戶(hù)將有高達10倍的光束亮度, 從而提高了圖像分辨率和對比度。

    EVO 能夠與其它設備相關(guān)聯(lián)

    工作流程自動(dòng)化和關(guān)聯(lián)顯微鏡的好處

    Shuttle & Find 將EVO、光學(xué)顯微鏡和數碼顯微鏡組成一個(gè)關(guān)聯(lián)的、多模態(tài)工作流程

    Shuttle & Find 將EVO、光學(xué)顯微鏡和數碼顯微鏡組成一個(gè)關(guān)聯(lián)的、多模態(tài)工作流程

     

    由于蔡司是各種類(lèi)型顯微鏡和計量系統的優(yōu)秀供應商, 所以您還可以將EVO 與蔡司其它解決方案相結合,使其功能能夠發(fā)揮得更好。

    通過(guò)使用Shuttle & Find(蔡司關(guān)聯(lián)顯微鏡的軟硬件部分),您可以在(數碼)光學(xué)顯微鏡和 EVO 之間建立一個(gè)高效的多模式聯(lián)用的工作流程。將光學(xué)顯微鏡獨特的光學(xué)對比方法與同樣獨特的掃描電鏡成像和分析方法相結合, 獲得互補的數據, 從而更清楚地去了解樣品的材料、質(zhì)量或失效機理。

    蔡司 SmartEDX

    用于常規SEM顯微分析應用的一體化EDS解決方案

    如果單采用SEM成像技術(shù)無(wú)法全面了解部件或樣品,研究人員就會(huì )借助能譜儀(EDS)來(lái)采集元素化學(xué)成份的空間分布信息。

    ZEISS SmartEDX
    • 針對常規顯微分析應用進(jìn)行了優(yōu)化

     SEM和EDS的搭配使用必須經(jīng)過(guò)謹慎細致的考量。EVO上的SmartEDX非常適用于常規顯微分析應用,尤其對于數據重復性要求高的客戶(hù)而言更是理想的選擇。它在129 eV能量分辨率和1-5 nA探頭電流(典型的EVO工作條件)下具有很高的通量。得益于氮化硅窗口的優(yōu)異透過(guò)率, SmartEDX更適合于探測到來(lái)自輕元素的低能X射線(xiàn)。


     

    Workflow-guided graphical user interface
    • 工作流程引導的圖形用戶(hù)界面

     SmartEDX旨在提高多用戶(hù)環(huán)境中的易用性和工作流程重復性。與其他蔡司工作流程引導的軟件解決方案(如:SmartSEM Touch,ZEN core或EVO 的Shuttle&Find)一樣,SmartEDX軟件易于學(xué)習,使用直觀(guān),并有助于確保在SEM上執行分析任務(wù)的重復性,尤其是在多個(gè)操作者使用該系統的環(huán)境中。


     

    Total ZEISS service and system support
    • 全方位的蔡司服務(wù)和系統支持

      SmartEDX由蔡司提供全方位支持,因此該EDS解決方案非常適合那些希望精簡(jiǎn)分析設備供應商數量的客戶(hù)。所有安裝、預防性維護、保修、診斷和維修、備件物流以及整個(gè)系統服務(wù)合同中的內容均由蔡司全面負責,為您的SEM分析解決方案提供一站式的的支持。


     

    EVO 系列

    真空室尺寸選擇


    蔡司EVO 10

    蔡司EVO 15

    蔡司EVO 25


     

    選擇 EVO 10(可選配BSD和EDS)是您想以一個(gè)非常實(shí)惠的價(jià)格購買(mǎi)掃描電子顯微鏡的切入點(diǎn)。即使這個(gè)EVO真空室很小,它也不同于臺式電鏡。您現在在 EVO 的投資保證了您已經(jīng)為將來(lái)需要更多空間和端口的應用做好了準備。

     

    EVO 15 充分展示了 EVO 家族的靈活性概念, 并擅長(cháng)于分析應用。選擇 EVO 15 更大的真空室, 并增加對不導電樣品或零件的成像和分析的可變壓力模式, 你將有一個(gè)多功能多用途的顯微鏡設備或者工業(yè)質(zhì)量保證實(shí)驗室的解決方案。

    EVO25 是工業(yè)的主力解決方案, 它有足夠的空間以容納甚至更大的部件和組件??蛇x的 80 mm Z 軸行程載物臺可進(jìn)一步擴展 EVO 25的功能, 它可以處理重量高達2公斤的樣品甚至傾斜。此外, 大的真空室將能夠容納多個(gè)分析檢測器以滿(mǎn)足苛刻的微量分析應用需求。

    最大樣品高度

    100 mm

    145 mm

    210 mm

    最大樣品直徑

    230 mm

    250 mm

    300 mm

    電動(dòng)載物臺行程XYZ

     

    80 x 100 x 35 mm

     

    125 x 125 x 50 mm

    130 x 130 x 50 (或 80) mm

    高真空模式 (HV) 
    導電樣品質(zhì)量的成像與分析
    •  

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    可變壓力模式 (VP) 

    不導電且不噴涂導電層樣品的高質(zhì)量成像和分析

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    擴展壓力模式 (EP)
    含水或被污染的樣品在其自然狀態(tài)下成像
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    蔡司 EVO 應用案例

    應用實(shí)例

    • 生產(chǎn)與裝配企業(yè)

    • 電子行業(yè)

    • 鋼鐵和其它金屬

    • 原材料

    • 材料科學(xué)

    • 生命科學(xué)

    • 司法鑒定

    • 生產(chǎn)與裝配企業(yè)

       

      鋅磷酸鹽電涂層, 高真空模式下使用 SE 探測器成像

      鋅磷酸鹽電涂層, 高真空模式下使用 SE 探測器成像

      汽車(chē)座椅墊泡沫, 可變真空模式下使用BSE探測器成像,樣品未噴涂導電層。

      汽車(chē)座椅墊泡沫, 可變真空模式下使用BSE探測器成像,樣品未噴涂導電層

      不銹鋼斷口表面, 高真空模式二次電子成像

      不銹鋼斷口表面, 高真空模式二次電子成像

      • 質(zhì)量分析/質(zhì)量控制

      • 失效分析/金相分析

      • 清潔度檢查

      • 顆粒的形態(tài)和化學(xué)分析, 以滿(mǎn)足 ISO 16232 和 VDA 19 中1和2的標準

      • 非金屬夾雜物的分析


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